प्लाझ्मा एच आणि सीव्हीडी सिस्टीमसाठी उच्च-शुद्धता ॲल्युमिना चेंबर फोकस रिंग

सेंट.सेराची चेंबर फोकस रिंग ही प्लाझ्मा एच, सीव्हीडी आणि पीव्हीडी सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरली जाणारी एक महत्त्वपूर्ण प्रोसेस किट घटक आहे. ९९.८% उच्च-शुद्धता असलेल्या ॲल्युमिना (Al₂O₃) पासून बनवलेली ही रिंग, प्लाझ्माला मर्यादित ठेवण्यासाठी आणि आयनच्या कोनीय वितरणाला अनुकूल करण्यासाठी वेफरच्या कडेला वेढते, ज्यामुळे वेफरच्या पृष्ठभागावर एचची एकसमानता सुधारते. हे मटेरियल उत्कृष्ट प्लाझ्मा प्रतिरोध, उच्च डायलेक्ट्रिक सामर्थ्य (१५×१०⁶ V/m) आणि १६००°C पर्यंत औष्णिक स्थिरता प्रदान करते, ज्यामुळे आक्रमक फ्लोरीन- किंवा क्लोरीन-आधारित प्लाझ्मा वातावरणात दीर्घकालीन विश्वसनीयता सुनिश्चित होते. अचूकपणे ग्राइंड केलेले आतील/बाहेरील पृष्ठभाग (ID/OD) आणि सपाटपणा (≤१० μm) वेफरच्या कडेचे अचूक स्थान निश्चित करण्यास सक्षम करतात, ज्यामुळे कडेवरील दोष आणि कणांची निर्मिती कमी होते.

तपशील(९९.८% ॲल्युमिनियमवर आधारित)₂O₃):

अनुप्रयोग:

• · डायलेक्ट्रिक एच चेंबर फोकस रिंग्ज (ऑक्साइड, नायट्राइड एच)
• · सिलिकॉन एच चेंबर एज रिंग्स
• · सीव्हीडी चेंबर प्रक्रिया किट रिंग्ज
• · PVD चेंबर शील्ड आणि क्लॅम्प रिंग्ज

उत्पादन प्रक्रिया:

उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरवर आयसोस्टॅटिक दाब दिला जातो → अंतिम आकाराजवळ आणण्यासाठी ग्रीन मशीनिंग केले जाते → १६००°C तापमानावर सिंटर केले जाते → आतील (ID), बाहेरील (OD) आणि जाडीसाठी सीएनसी डायमंड ग्राइंडिंग केले जाते → ≤१० μm सपाटपणा मिळवण्यासाठी लॅपिंग केले जाते → अल्ट्रासोनिक स्वच्छता केली जाते → १००% सीएमएम तपासणी केली जाते. पृष्ठभागावरील फिनिश Ra ≤०.४ μm कणांचे चिकटणे कमी करते.

गुणवत्ता नियंत्रण:

• · १००% आयामी तपासणी (आतील व्यास, बाहेरील व्यास, जाडी, समांतरता)
• · सूक्ष्म भेगांसाठी रंग भेदक चाचणी (कोणत्याही भेगा चालणार नाहीत)
• · २०× मायक्रोस्कोपखाली दृश्य तपासणी — कोणतेही तडे, पोकळ्या किंवा रंगातील बदल नसावेत
• · ASTM D149 नुसार डायलेक्ट्रिक सामर्थ्य चाचणी (नमुना घेणे)

सिलिकॉन किंवा क्वार्ट्ज फोकस रिंगच्या तुलनेत फायदे:

• · फ्लोरोकार्बन प्लाझ्मामध्ये ५-१० पट जास्त आयुर्मान
• · वेफर्सना दूषित करणारे कोणतेही उपभोग्य क्षरण कण नाहीत
• · उच्च डायलेक्ट्रिक सामर्थ्यामुळे आर्किंगला प्रतिबंध होतो.
• · हजारो RF तासांमध्ये सपाटपणा आणि आयामी अचूकता टिकवून ठेवते

पर्यायी सामग्री — यट्रिया-स्थिर झिरकोनिया (ZrO)₂):

ज्या अनुप्रयोगांमध्ये उच्च फ्रॅक्चर टफनेसची आवश्यकता असते (उदा., वारंवार थर्मल सायकलिंग किंवा मेकॅनिकल शॉक असलेले चेंबर्स), त्यांच्यासाठी ZrO₂ फोकस रिंग्स (घनता ६.०३ ग्रॅम/सेमी³, फ्लेक्झुरल स्ट्रेंथ १००० MPa, फ्रॅक्चर टफनेस ५–८ MPa·m¹/²) उपलब्ध आहेत. तथापि, ॲल्युमिना अधिक किफायतशीर आहे आणि बहुतेक फोकस रिंग अनुप्रयोगांसाठी ते उद्योग मानक आहे.

सानुकूलन:

• · ग्राहकाच्या रेखाचित्रानुसार स्टेप प्रोफाइल, काउंटरबोर किंवा माउंटिंग होल
• · प्लाझ्मा क्षरण प्रतिकारशक्ती वाढवण्यासाठी Y₂O₃ लेपन (जाडी २०–१०० μm)
• · पार्ट नंबर, डेट कोड किंवा अलाइनमेंट मार्किंगचे लेझर मार्किंग

टीप:सर्व डेटा पुरवलेल्या Al₂O₃ गुणधर्म तक्त्याचे काटेकोरपणे पालन करतो. ZrO₂ तपशिलांसाठी, पुरवलेली झिर्कोनिया डेटाशीट पहा. फोकस रिंग डिझाइनसाठी पेटंट मंजुरीची आवश्यकता असू शकते — बौद्धिक संपदा हक्कांची पडताळणी करण्याची जबाबदारी ग्राहकांची आहे.