उच्च तापमानाच्या चेंबरला सील करण्यासाठी उच्च-शुद्धतेची ॲल्युमिना सिरेमिक सील रिंग
सेंट.सेराची सिरेमिक सील रिंग, अशा अत्यंत प्रतिकूल वातावरणात जिथे इलास्टोमर्स खराब होतात, तिथे पॉलिमर ओ-रिंग्जला पर्याय म्हणून डिझाइन केली आहे. ९९.८% उच्च-शुद्धता असलेल्या ॲल्युमिना (Al₂O₃) पासून बनवलेली ही मजबूत सील रिंग, स्थिर सीलिंग ॲप्लिकेशन्समध्ये वापरली जाते — सामान्यतः मऊ धातू किंवा ग्राफाइट गॅस्केटसोबत — जी ८००°C पर्यंतच्या तापमानात आणि आक्रमक प्लाझ्मा किंवा रासायनिक वातावरणात विश्वसनीय व्हॅक्यूम किंवा वायू रोखण्याचे काम करते. या मटेरियलमधून शून्य आउटगॅसिंग, उच्च कॉम्प्रेशिव्ह स्ट्रेंथ (अंतर्निहित फ्लेक्झुरल स्ट्रेंथ ३६१ MPa) आणि रासायनिक निष्क्रियता (HF वगळता हॅलोजन्स, ॲसिड्स आणि अल्कलींना प्रतिरोधक) मिळते. अचूकपणे लॅप केलेले सीलिंग पृष्ठभाग (सपाटपणा ≤५ μm, पृष्ठभागाची खडबडपणा Ra ≤०.२ μm) जुळणाऱ्या धातू किंवा सिरेमिक घटकांसोबत गळती-विरहित संपर्क सुनिश्चित करतात.
तपशील(९९.८% ॲल्युमिनियमवर आधारित)₂O₃):
| मालमत्ता | मूल्य |
| साहित्य | ९९.८% ॲल्युमिना (आयव्हरी) |
| घनता | ३.९३ ग्रॅम/सेमी³ |
| पाणी शोषण | 0% |
| वाकण्याची ताकद | ३६१ एमपीए |
| संपीडन शक्ती (अंदाजे) | २००० एमपीए |
| विकर्स कठीणपणा | १६ जीपीए |
| औष्णिक प्रसरण (25–1000°C) | ७.२×१०⁻⁶/℃ |
| कमाल ऑपरेटिंग तापमान | ८००°से (हवा), १६००°से (अक्रिय) |
| पृष्ठभाग परिष्करण (सील करण्याचा पृष्ठभाग) | Ra ≤0.2 μm (लॅप केलेले) |
| सपाटपणा (प्रति २५ मिमी) | ≤५ μm |
| हेलियम गळतीचा दर | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (योग्य गॅस्केटसह) |
अनुप्रयोग:
- · सेमीकंडक्टर प्रक्रिया कक्ष स्थिर सील (CVD, PVD, एच)
- · उच्च-तापमान भट्टीच्या दरवाजाचे सील
- · व्हॅक्यूम फीडथ्रू फ्लँजेस
- · रासायनिक रिॲक्टर पात्राचे झाकण
उत्पादन प्रक्रिया:
आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग → १६००°C तापमानावर सिंटरिंग → अत्यंत सपाट, गुळगुळीत सीलिंग पृष्ठभाग मिळवण्यासाठी अचूक दुहेरी-बाजूचे लॅपिंग → कडांना चॅम्फरिंग → अल्ट्रासोनिक स्वच्छता. प्रत्येक रिंगची मानक धातूच्या गॅस्केटसह हेलियम लीक डिटेक्टरवर १००% गळती-चाचणी केली जाते.
गुणवत्ता नियंत्रण:
- · CMM मापांची तपासणी (आतील व्यास, बाहेरील व्यास, जाडी, समांतरता)
- · Ra आणि तरंगता मोजण्यासाठी पृष्ठभाग प्रोफाइलमीटर
- · ऑप्टिकल फ्लॅट वापरून सपाटपणाचे मापन
- · हेलियम गळती चाचणी (बॅक-प्रेशरायझेशन पद्धत)
पॉलिमर ओ-रिंगच्या तुलनेत फायदे:
- · FFKM साठी 800°C विरुद्ध <300°C सहन करते
- · शून्य वायू उत्सर्जन — निर्वात वातावरणाचे प्रदूषण होत नाही
- · सर्व प्लाझ्मा रसायनशास्त्रांना (फ्लोरिन, क्लोरीन, ऑक्सिजन) प्रतिरोधक
- · दाबामुळे होणारा घट्टपणा किंवा कायमस्वरूपी विकृती नाही
- · स्वच्छ वातावरणात अमर्याद सेवा आयुष्य
मर्यादा (टीकात्मक निरीक्षणे):
- · ओ-रिंग नाही— ही एक कडक सिरेमिक रिंग आहे, जिला सील करण्यासाठी मऊ गॅस्केटची (तांबे, ॲल्युमिनियम किंवा ग्राफाइट) आवश्यकता असते.
- · गतिशील हालचाल किंवा फ्लॅंजमधील मोठे विस्थापन सामावून घेत नाही.
- पॉलिमर ओ-रिंगच्या तुलनेत सुरुवातीचा खर्च जास्त असतो, परंतु दीर्घायुष्यामुळे मालकीचा खर्च कमी होतो.
- · ठिसूळ — काळजीपूर्वक हाताळा; एकाच बिंदूवर आघात किंवा वाकण्याचा ताण टाळा.
टीप:वरील माहिती पुरवलेल्या Al₂O₃ गुणधर्म तक्त्यानुसारच आहे. इलॅस्टोमेरिक पदार्थांसाठी कोणतीही माहिती दिलेली नाही. हे उत्पादन एक स्टॅटिक सील रिंग आहे, इलॅस्टोमेरिक ओ-रिंग नाही. कृपया याची खात्री करा की हे तुमच्या वापराच्या आवश्यकता पूर्ण करते का.
