टेफ्लॉन लेपित सिरेमिक एंड इफेक्टर – संवेदनशील वेफर हाताळणीसाठी न चिकटणारा पृष्ठभाग

सेंट.सेराच्या टेफ्लॉन (PTFE) लेपित सिरेमिक एंड इफेक्टरमध्ये उच्च-शक्तीच्या ॲल्युमिना सबस्ट्रेटसोबत एकसमान, कमी-घर्षणाचे PTFE कोटिंग (जाडी १५-३० μm) जोडलेले असते. हे कोटिंग अत्यंत कमी घर्षण गुणांक (≤०.१), उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकारशक्ती आणि न चिकटण्याचे गुणधर्म प्रदान करते, ज्यामुळे वेफर चिकटण्यास प्रतिबंध होतो आणि मागील बाजूचे प्रदूषण टाळले जाते. त्याखालील सिरेमिक सबस्ट्रेट (९९.८% Al₂O₃) उच्च लवचिक शक्ती (३६१-१००० MPa), झीज-प्रतिकारशक्ती आणि २६०°C पर्यंत (कोटिंग मर्यादेपर्यंत) औष्णिक स्थिरता प्रदान करते. हा एंड इफेक्टर नाजूक, पातळ किंवा चिकट वेफर्स हाताळण्यासाठी आदर्श आहे (उदा., फोटोरेझिस्ट कोटिंग किंवा रासायनिक प्रक्रियांनंतर).

तपशील (PTFE कोटिंग असलेल्या ९९.८% Al₂O₃ सबस्ट्रेटवर आधारित):

टीप: PTFE कोटिंगमुळे कमाल तापमान 260°C पर्यंत मर्यादित राहते; जास्त तापमानाच्या उपयोगांसाठी, कोटिंग नसलेल्या सिरॅमिक किंवा इतर कोटिंग्जचा विचार करा.

अनुप्रयोग:

• · फोटोरेझिस्ट कोटिंगनंतर वेफर्स हाताळणे (चिकट पृष्ठभाग)
• · पातळ किंवा नाजूक वेफर्सचे हस्तांतरण (चिकटणे टाळते)
• · सेमीकंडक्टर तपासणी आणि मेट्रोलॉजी साधने
• · क्लीनरूम ऑटोमेशन, जिथे कणांचे प्रदूषण कमीत कमी करणे आवश्यक असते

उत्पादन प्रक्रिया:

सिरॅमिक सबस्ट्रेटचे सिंटरिंग आणि प्रिसिजन ग्राइंडिंग → पृष्ठभाग खडबडीत करणे (प्लाझ्मा एच किंवा ग्रिट ब्लास्ट) → पीटीएफई स्प्रे कोटिंग → ३८०°C तापमानावर उष्णता उपचार (हीट क्युरिंग) → अंतिम तपासणी. प्रत्येक एंड इफेक्टरची कोटिंगची जाडी (एडी करंट), आसंजन (क्रॉस-कट टेस्ट ASTM D3359) आणि घर्षण गुणांक यासाठी तपासणी केली जाते.

गुणवत्ता नियंत्रण:

पिनहोल किंवा बुडबुड्यांसाठी १००% दृश्य तपासणी; कोटिंगच्या जाडीची एकसमानता ±५ μm च्या आत; साक्षीदार कूपनवर ९०° वाकण्याच्या चाचणीनंतर स्तरांचे विलगन नाही. OEM सहनशीलतेनुसार आयामी तपासणी (लांबी ±०.०५ मिमी, सपाटपणा ≤०.१ मिमी).

लेप नसलेल्या किंवा इतर लेपांच्या तुलनेत फायदे:

• · न चिकटणारा पृष्ठभाग वेफरला चिकटण्यापासून आणि तुटण्यापासून वाचवतो
• · सिरॅमिक कोटिंग्समधील सर्वात कमी घर्षण गुणांक
• · उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकारशक्ती (आम्ल, क्षार, द्रावक)
• · पदार्थांचे हस्तांतरण रोखून कणांची निर्मिती कमी करते

मर्यादा (सामग्रीतील फरकावरील शेरा):

पीटीएफई कोटिंग दिलेल्या मटेरियल प्रॉपर्टी टेबल्स (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) वरून घेतलेले नाही. सबस्ट्रेटचे गुणधर्म पुरवलेल्या डेटाशीटचे (99.8% Al₂O₃) काटेकोरपणे पालन करतात. कोटिंगचे गुणधर्म उद्योग-मानक पीटीएफई वैशिष्ट्यांवर आधारित आहेत, कारण कोटिंगबद्दल कोणताही डेटा पुरवला गेला नव्हता. 260°C पेक्षा जास्त तापमानाच्या अनुप्रयोगांसाठी, कोटिंग नसलेल्या सिरेमिक एंड इफेक्टरची शिफारस केली जाते.*

सानुकूलन:

OEM ड्रॉइंगनुसार १५०–१५०० मिमी लांबी, टोकाचे आकार (एज ग्रिप, बर्नोली, फ्लॅट), माउंटिंग फ्लेंज पॅटर्नमध्ये उपलब्ध. आंशिक कोटिंग (फक्त संपर्क क्षेत्रांवर) किंवा संपूर्ण आवरण ऐच्छिक.

आसंजन आणि घर्षण चाचणीसाठी नमुन्याची विनंती करा.