बर्नोली सिरेमिक एंड इफेक्टर — पातळ आणि नाजूक वेफर्ससाठी संपर्करहित वेफर हाताळणी

सेंट.सेराचा बर्नोली सिरेमिक एंड इफेक्टर, वेफर्सना प्रत्यक्ष स्पर्श न करता हाताळण्यासाठी एअरोडायनॅमिक लिफ्टचा वापर करतो. उच्च-शुद्धतेच्या ९९.८% ॲल्युमिना (Al₂O₃) किंवा सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) पासून बनवलेल्या या एंड इफेक्टरमध्ये अचूकपणे मशीन केलेले नोझल्स आहेत, जे दाबयुक्त वायू बाहेर टाकून एंड इफेक्टर आणि वेफर यांच्यामध्ये हवेचा एक पातळ थर तयार करतात. हे स्पर्शविरहित तत्त्व मागच्या बाजूचे प्रदूषण, कडांना तडे जाणे आणि पृष्ठभागाचे नुकसान टाळते, ज्यामुळे ते पातळ (≤१०० μm), नाजूक किंवा वाकलेल्या वेफर्ससाठी आदर्श ठरते. सिरेमिक सबस्ट्रेट उच्च लवचिक शक्ती (Al₂O₃ साठी ३६१ MPa; SiC साठी ५५०–६०० MPa पर्यंत), कमी वजन आणि उत्कृष्ट आयामी स्थिरता प्रदान करते, ज्यामुळे हाय-स्पीड वेफर ट्रान्सफर रोबोट्समध्ये पुनरावर्तनीय स्थिती सुनिश्चित होते.

सामग्रीविषयी टीप:ॲल्युमिना (Al₂O₃) हे सेमीकंडक्टर वेफर हाताळणीमधील सिरॅमिक एंड इफेक्टर्ससाठी सर्वाधिक वापरले जाणारे मटेरियल आहे, कारण त्यात कठीणपणा, विद्युतरोधकता, रासायनिक स्थिरता आणि किफायतशीरपणा यांचा उत्कृष्ट मिलाफ आहे. सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) अत्यंत आव्हानात्मक ॲप्लिकेशन्ससाठी उच्च औष्णिक वाहकता, उच्च कठीणपणा आणि त्याहूनही उत्तम झीज-प्रतिरोधकता प्रदान करते. यट्रिया-स्टॅबिलाइज्ड झिर्कोनिया (ZrO₂) सामान्य तापमानावर उच्च फ्रॅक्चर टफनेस देत असले तरी, त्याच्या उच्च घनतेमुळे आणि वेगळ्या औष्णिक प्रसरण वैशिष्ट्यांमुळे या ॲप्लिकेशनमध्ये त्याचा वापर कमी प्रमाणात केला जातो; ज्या विशिष्ट परिस्थितींमध्ये अपवादात्मक फ्रॅक्चर टफनेसची आवश्यकता असते, तिथे त्याचा विचार केला जाऊ शकतो. मटेरियल निवडीच्या मार्गदर्शनासाठी कृपया आमच्या तांत्रिक टीमशी संपर्क साधा.

तपशील(९९.८% ॲल्युमिनियमवर आधारित)₂O₃):

कार्यप्रणालीचे तत्त्व:

संपीडित हवा किंवा नायट्रोजन (०.२–०.६ MPa) अंतर्गत चॅनेलमधून पुरवला जातो आणि अचूक नोझल्समधून बाहेर पडतो. वेगवान हवेच्या प्रवाहामुळे एंड इफेक्टरच्या वर कमी दाबाचे क्षेत्र (बर्नोली इफेक्ट) तयार होते, ज्यामुळे उचल शक्ती निर्माण होते. ही शक्ती वेफरला ५०–२०० μm च्या अंतरावर आधार देते. कोणतेही व्हॅक्यूम होल्स किंवा पॅड्स वेफरच्या मागील बाजूस स्पर्श करत नाहीत.

अनुप्रयोग:

• · मागच्या बाजूने ग्राइंडिंग केल्यानंतर पातळ वेफर (≤५० μm) हाताळणे
• · वाकलेल्या वेफरची वाहतूक (उदा., CVD किंवा ॲनीलिंगनंतर)
• · सौर सेल आणि एलईडी नीलमणी सब्सट्रेट हस्तांतरण
• · शून्य कण निर्मिती आवश्यक असलेले क्लीनरूम ऑटोमेशन
• · डिस्प्ले निर्मितीमध्ये काचेच्या पॅनेलची हाताळणी

उत्पादन प्रक्रिया:

उच्च-शुद्धतेच्या पावडरपासून सिंटर केलेले सिरॅमिक सबस्ट्रेट → गॅस चॅनेल आणि नोझल होलचे (व्यास ०.३–१.० मिमी, टॉलरन्स ±०.०१ मिमी) ५-अक्षीय सीएनसी मशीनिंग → Ra ≤०.४ μm पर्यंत पृष्ठभागाचे लॅपिंग → अल्ट्रासोनिक स्वच्छता → हेलियम गळती चाचणी (गॅस चॅनेल). कोणत्याही कोटिंगची आवश्यकता नाही — सिरॅमिकचा मूळ पृष्ठभाग रासायनिक दृष्ट्या निष्क्रिय आणि प्रदूषणरहित असतो.

गुणवत्ता नियंत्रण:

• · नोझलची स्थिती, आर्मची लांबी आणि सपाटपणा यांची १००% आयामी तपासणी (CMM)
• · हवेच्या प्रवाहाच्या एकसमानतेची चाचणी: सर्व नोझल्समधील दाबातील घट ≤५%
• · गळती चाचणी: ०.६ MPa दाबावर गॅस चॅनेल सील केले, ३० सेकंदांमध्ये दाबात कोणतीही घट नाही
• · सूक्ष्म भेगा किंवा खरखरेपणा तपासण्यासाठी २०× मायक्रोस्कोपखाली दृश्य तपासणी

Aपारंपारिक कॉन्टॅक्ट एंड इफेक्टर्सच्या तुलनेत फायदे:

• · वेफरच्या मागील बाजूस शून्य दूषितीकरण — कोणताही यांत्रिक संपर्क नाही
• · पातळ वेफर्सच्या कडांना तडे जात नाहीत किंवा ते तुटत नाहीत.
• · १ मिमी पर्यंतच्या वाकलेल्या वेफर्सना स्थिर गॅपसह हाताळते
• · व्हॅक्यूम जनरेटर आणि पोरस चकच्या देखभालीची गरज नाहीशी करते
• · सिरॅमिक रचना झीज आणि रासायनिक हल्ल्याला प्रतिकार करते

सानुकूलन:

• · २०० मिमी, ३०० मिमी किंवा मागणीनुसार वेफर आकारात उपलब्ध
• · गॅस नोजलचे प्रकार: सरळ, कोनदार किंवा व्हॉर्टेक्स प्रकार
• · साहित्य: ॲल्युमिना (प्रमाणित) किंवा सिलिकॉन कार्बाइड (सर्वाधिक औष्णिक वाहकता आणि झीज-प्रतिरोधकतेसाठी)
• · OEM रेखाचित्रानुसार आर्मची लांबी, माउंटिंग फ्लॅंज आणि गॅस पोर्टचे स्थान

मर्यादा:

बर्नोली तत्त्वाची अंमलबजावणी (नोजल डिझाइन, एअर गॅप) दिलेल्या मटेरियल प्रॉपर्टी टेबलच्या व्याप्तीबाहेर आहे. वरील यांत्रिक आणि औष्णिक गुणधर्म ९९.८% Al₂O₃ साठी पुरवलेल्या डेटाशीटचे काटेकोरपणे पालन करतात. या मटेरियल गुणधर्मांच्या आधारावर, दाबयुक्त वायू प्रवाहाखाली सिरॅमिकच्या कार्यक्षमतेत कोणतीही घट अपेक्षित नाही. वायू प्रवाहासाठी संवेदनशील असलेल्या वेफर्ससाठी (उदा., नाजूक संरचना असलेले MEMS), वायूचा दाब आणि नोजल डिझाइन त्यानुसार समायोजित केले पाहिजे.