-
वेफर हाताळणी रोबोटसाठी उच्च-शुद्धता ॲल्युमिना सिरेमिक एंड इफेक्टर
सेंट.सेराचा ॲल्युमिना सिरेमिक एंड इफेक्टर, प्रगत ५-ॲक्सिस सीएनसी ग्राइंडिंग उपकरणांचा वापर करून ९९.८% उच्च-शुद्धतेच्या Al₂O₃ पासून अचूकपणे मशीन केला जातो. आमच्या उत्पादन क्षमतेमध्ये अचूक ग्राइंडिंग मशीन्स आणि सीएनसी मशीनिंग सेंटर्सचा समावेश आहे, ज्यामुळे उच्च अचूकतेसह जटिल भूमिती तयार करणे शक्य होते. या एंड इफेक्टरमध्ये पातळ प्रोफाइल (१.५ मिमी इतके पातळ) असून, वेफर सहजपणे आत घालण्यासाठी त्याला निमुळती पुढची कडा (टॅपर्ड लीडिंग एज) आहे. हे मटेरियल उच्च कडकपणा (यंग्स मॉड्युलस ३८० GPa), उत्कृष्ट झीज-प्रतिरोधकता आणि ८००°C पर्यंत औष्णिक स्थिरता प्रदान करते. प्रत्येक युनिटला ०.००३ मिमी सपाटपणा, ०.००२ मिमी समांतरता आणि Ra0.1 पृष्ठभाग परिष्करण (सरफेस फिनिश) प्राप्त करण्यासाठी अचूकपणे ग्राइंड केले जाते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर फॅब वातावरणात सातत्यपूर्ण वेफर संपर्क आणि कण-मुक्त कार्यप्रणाली सुनिश्चित होते. हे १५० मिमी ते ४५० मिमी पर्यंतच्या लांबीमध्ये, कस्टम टिप भूमिती (एज ग्रिप, बर्नोली, फ्लॅट) आणि ओईएम (OEM) रोबोट्सना बसवण्यासाठी माउंटिंग फ्लँजेससह उपलब्ध आहे. पृष्ठभागाच्या फिनिशच्या पर्यायांमध्ये लॅप्ड, पॉलिश्ड किंवा ESD डिसिपेटिव्ह कोटिंग (10⁶–10⁹ Ω/sq) यांचा समावेश आहे.
-
ST.CERA सानुकूलित ॲल्युमिना सिरेमिक बर्नोली एंड इफेक्टर
सिरेमिक एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्मचे एक अग्रगण्य उत्पादक म्हणून, आम्ही बाजाराच्या गरजा पूर्ण करणारा एक अपारंपरिक एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्म विकसित केला आहे. बर्नोलीच्या तत्त्वावर आधारित हा सिरेमिक एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्म, कमीत कमी बाह्य संपर्कासह हवेच्या प्रवाहाद्वारे वेफरला तरंगवू आणि वाहून नेऊ शकतो.
-
ST.CERA सानुकूलित ESD सिरेमिक एंड इफेक्टर
उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, झीज प्रतिरोध आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे, सिरॅमिक अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, निर्वात किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकते.
-
ST.CERA सानुकूलित ॲल्युमिना सिरेमिक ग्रिपिंग एंड इफेक्टर
उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, झीज प्रतिरोध आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे, सिरॅमिक अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, निर्वात किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकते.
-
ST.CERA सानुकूलित ॲल्युमिना सिरेमिक ट्रे एंड इफेक्टर
हा एक ट्रे-प्रकारचा सिरेमिक एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्म आहे, जो निर्वात स्थितीत वापरला जातो.
धातूच्या भागांच्या तुलनेत सिरेमिक एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्म "अधिक उष्णता-प्रतिरोधक", "कमी विचलित होणारे" आणि वजनाने "हलके" असते.
-
ST.CERA सानुकूलित ॲल्युमिना सिरेमिक व्हॅक्यूम एंड इफेक्टर
उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, झीज प्रतिरोध आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे, सिरॅमिक अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, निर्वात किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकते.
-
ST.CERA सानुकूलित ॲल्युमिना सिरेमिक एंड इफेक्टर
ST.CERA उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले ESD कोटिंग आणि ESD सिरेमिक मटेरियलचे एंड इफेक्टर सादर करते. कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि प्रिसिजन फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केल्यामुळे, यात ±0.001 मिमी पर्यंत डायमेन्शन टॉलरन्स, Ra 0.1 सरफेस फिनिश आणि 1600℃ पर्यंत तापमान प्रतिरोधकता मिळू शकते.
-
ST.CERA सानुकूलित ॲल्युमिना सिरेमिक व्हॅक्यूम एंड इफेक्टर
हा एक ट्रे-प्रकारचा सिरेमिक एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्म आहे, जो निर्वात स्थितीत वापरला जातो.
धातूच्या भागांच्या तुलनेत सिरेमिक एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्म "अधिक उष्णता-प्रतिरोधक", "कमी विचलित होणारे" आणि वजनाने "हलके" असते.
उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, झीज प्रतिरोध आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे, सिरॅमिक अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, निर्वात किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकते.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
-
ST.CERA सानुकूलित ॲल्युमिना सिरेमिक एंड इफेक्टर वेफर हाताळणी
ST.CERA अंगभूत पोकळ चॅनल असलेले ESD कोटिंग आणि ESD सिरेमिक मटेरियलचे एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्म उपलब्ध करून देते. आम्ही अशा तंत्रात विशेषज्ञ आहोत, जे चिकट पदार्थाचा वापर न करता मटेरियलच्या एकाच तुकड्यामध्ये व्हॅक्यूम एअर चॅनल तयार करते.
दूषित पदार्थ, वायू उत्सर्जन किंवा कणांचा कोणताही धोका नाही. ST.CERA चा विशेष कोटिंग तंत्रज्ञानाने बनवलेला व्हॅक्यूम एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्म विद्युतरोधक आहे. आम्ही कोणत्याही कोटिंगशिवाय विद्युतरोधक असलेले ESD सिरेमिक मटेरियल देखील देऊ शकतो.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते. -
ॲल्युमिना सिरेमिक एंड इफेक्टर सेमीकंडक्टर उपकरण घटक
वेफर्सची वाहतूक होत असताना किंवा ते एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्मच्या संपर्कात येत असताना, बेव्हल किंवा कोनदार कडा आणि मागील पृष्ठभागावरून निर्माण होऊ शकणाऱ्या कणांना प्रतिबंधित करा.
गाईड्ससाठी, वेफरला नुकसान न पोहोचवणाऱ्या मऊ पदार्थाचा वापर करण्यात आला आहे.
ST.CERA च्या अंगभूत व्हॅक्यूम चॅनल तंत्रज्ञानामुळे विरळ करणे शक्य आहे, ज्यामध्ये चिकट पदार्थांचा वापर केला जात नाही.
रोबोटवर जिथे एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्म बसवला जातो, त्या बेससाठी माउंटिंग होल बनवणे आणि त्याची लांबी व रुंदी बदलणे शक्य आहे.
माउंटिंग सेन्सर, स्क्रू आणि ब्रॅकेट पर्यायी म्हणून उपलब्ध आहेत.
वातावरणात वापरण्यासाठी डिझाइन केलेले.
-
सेंट.सेरा सिरेमिक एंड इफेक्टरचे सानुकूलित सीएनसी मशीनिंग
ST.CERA अंगभूत पोकळ चॅनल असलेला व्हॅक्यूम सिरेमिक एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्म सादर करते. आम्ही अशा तंत्रात विशेषज्ञ आहोत, जे चिकटवणाऱ्या पदार्थाचा वापर न करता, एकाच मटेरियलच्या तुकड्यामध्ये व्हॅक्यूम एअर चॅनल तयार करते.
दूषित पदार्थ, वायू उत्सर्जन किंवा कणांचा कोणताही धोका नाही. ST.CERA चे अंगभूत चॅनल असलेले व्हॅक्यूम एंड इफेक्टर / हँडलिंग आर्म टिकाऊ असून ते उच्च तापमानात वापरले जाऊ शकतात. शिवाय, अनावश्यक जोडणी टाळल्यामुळे आमचा उत्पादन खर्च कमी होऊ शकतो.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
-
ॲल्युमिना अँटी-स्टॅटिक सिरेमिक एंड इफेक्टर
उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, झीज प्रतिरोध आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे, सिरॅमिक अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, निर्वात किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकते.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
