-
वेफर हाताळणीसाठी उच्च-शुद्धता ॲल्युमिना सिरेमिक रोबोट आर्म
सेंट.सेराचा ॲल्युमिना सिरेमिक रोबोट आर्म ९९.८% उच्च-शुद्धता असलेल्या Al₂O₃ (ॲल्युमिना) पासून अचूकपणे तयार केला आहे. यात अपवादात्मक लवचिक शक्ती (३६१ MPa), उच्च कठीणता (१६ GPa) आणि कमी घनता (३.९३ g/cm³) यांचा मिलाफ आहे, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर वेफर हस्तांतरणासाठी एक हलका पण मजबूत आर्म तयार होतो. या मटेरियलचा औष्णिक प्रसरण गुणांक (७.२×१०⁻⁶/°C) सिलिकॉनशी जवळून जुळतो, ज्यामुळे प्रक्रियेदरम्यान औष्णिक विसंगती कमी होते.
-
बर्नोली सिरेमिक एंड इफेक्टर — पातळ आणि नाजूक वेफर्ससाठी संपर्करहित वेफर हाताळणी
सेंट.सेराचा बर्नोली सिरेमिक एंड इफेक्टर, वेफर्सना प्रत्यक्ष स्पर्श न करता हाताळण्यासाठी एअरोडायनॅमिक लिफ्टचा वापर करतो. उच्च-शुद्धतेच्या ९९.८% ॲल्युमिना (Al₂O₃) किंवा सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) पासून बनवलेल्या या एंड इफेक्टरमध्ये अचूकपणे मशीन केलेले नोझल्स आहेत, जे दाबयुक्त वायू बाहेर टाकून एंड इफेक्टर आणि वेफर यांच्यामध्ये हवेचा एक पातळ थर तयार करतात. हे स्पर्शविरहित तत्त्व मागच्या बाजूचे प्रदूषण, कडांना तडे जाणे आणि पृष्ठभागाचे नुकसान टाळते, ज्यामुळे ते पातळ (≤१०० μm), नाजूक किंवा वाकलेल्या वेफर्ससाठी आदर्श ठरते. सिरेमिक सबस्ट्रेट उच्च लवचिक शक्ती (Al₂O₃ साठी ३६१ MPa; SiC साठी ५५०–६०० MPa पर्यंत), कमी वजन आणि उत्कृष्ट आयामी स्थिरता प्रदान करते, ज्यामुळे हाय-स्पीड वेफर ट्रान्सफर रोबोट्समध्ये पुनरावर्तनीय स्थिती सुनिश्चित होते.
-
टेफ्लॉन लेपित सिरेमिक एंड इफेक्टर – संवेदनशील वेफर हाताळणीसाठी न चिकटणारा पृष्ठभाग
सेंट.सेराच्या टेफ्लॉन (PTFE) लेपित सिरेमिक एंड इफेक्टरमध्ये उच्च-शक्तीच्या ॲल्युमिना सबस्ट्रेटसोबत एकसमान, कमी-घर्षणाचे PTFE कोटिंग (जाडी १५-३० μm) जोडलेले असते. हे कोटिंग अत्यंत कमी घर्षण गुणांक (≤०.१), उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकारशक्ती आणि न चिकटण्याचे गुणधर्म प्रदान करते, ज्यामुळे वेफर चिकटण्यास प्रतिबंध होतो आणि मागील बाजूचे प्रदूषण टाळले जाते. त्याखालील सिरेमिक सबस्ट्रेट (९९.८% Al₂O₃) उच्च लवचिक शक्ती (३६१-१००० MPa), झीज-प्रतिकारशक्ती आणि २६०°C पर्यंत (कोटिंग मर्यादेपर्यंत) औष्णिक स्थिरता प्रदान करते. हा एंड इफेक्टर नाजूक, पातळ किंवा चिकट वेफर्स हाताळण्यासाठी आदर्श आहे (उदा., फोटोरेझिस्ट कोटिंग किंवा रासायनिक प्रक्रियांनंतर).
