वेफर हाताळणीसाठी उच्च-शुद्धता ॲल्युमिना सिरेमिक रोबोट आर्म
सेंट.सेराचा ॲल्युमिना सिरेमिक रोबोट आर्म ९९.८% उच्च-शुद्धता असलेल्या Al₂O₃ (ॲल्युमिना) पासून अचूकपणे तयार केला आहे. यात अपवादात्मक लवचिक शक्ती (३६१ MPa), उच्च कठीणता (१६ GPa) आणि कमी घनता (३.९३ g/cm³) यांचा मिलाफ आहे, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर वेफर हस्तांतरणासाठी एक हलका पण मजबूत आर्म तयार होतो. या मटेरियलचा औष्णिक प्रसरण गुणांक (७.२×१०⁻⁶/°C) सिलिकॉनशी जवळून जुळतो, ज्यामुळे प्रक्रियेदरम्यान औष्णिक विसंगती कमी होते.
तपशील (९९.८% Al₂O₃ वर आधारित):
| मालमत्ता | मूल्य |
| रंग | हस्तिदंत |
| घनता | ३.९३ ग्रॅम/सेमी³ |
| वाकण्याची ताकद | ३६१ एमपीए |
| विकर्स कठीणपणा | १६ जीपीए |
| यंगचा मापांक | ३८० जीपीए |
| औष्णिक वाहकता | ३२ वॅट/मीटर·किलो |
| औष्णिक विस्तार | ७.२×१०⁻⁶/℃ |
| डायलेक्ट्रिक सामर्थ्य | १५×१०⁶ व्होल्ट/मीटर |
अनुप्रयोग:
- व्हॅक्यूम वेफर ट्रान्सफर रोबोट्स (२०० मिमी/३०० मिमी)
- वातावरणीय हाताळणी प्रणाली
फॅब ऑटोमेशनसाठी एंड इफेक्टर आर्म्स
उत्पादन प्रक्रिया:
आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग → ग्रीन मशीनिंग → १६००°C वर सिंटरिंग → सीएनसी प्रिसिजन ग्राइंडिंग → अल्ट्रासोनिक क्लीनिंग → क्लास १०० क्लीनरूम पॅकेजिंग. प्रत्येक आर्मची सपाटपणा (±०.०१ मिमी) आणि पृष्ठभागाची खडबडपणा (Ra ≤०.४ μm) साठी सीएमएमद्वारे १००% तपासणी केली जाते.
गुणवत्ता नियंत्रण:
सेंट.सेरा आयएसओ ९००१:२०१५ प्रमाणित आहे. आम्ही सूक्ष्म-तड्यांसाठी डाय पेनिट्रंट चाचणी, लवचिक शक्तीसाठी थ्री-पॉइंट बेंडिंग आणि एएसटीएम डी१४९ नुसार डायलेक्ट्रिक शक्ती चाचणी करतो.
धातूच्या शस्त्रांपेक्षा फायदे:
स्टेनलेस स्टीलपेक्षा ५०% हलके
गॅल्व्हॅनिक क्षरण नाही
- कमी कण निर्मिती (≤०.०५ कण/सेमी²)
- ESD-सुरक्षित कोटिंग उपलब्ध (10⁶–10⁹ Ω/sq)
सानुकूलन:
१५० मिमी ते ४५० मिमी पर्यंतची लांबी, टोकांचे आकार (एज ग्रिप, बर्नोली, व्हॅक्यूम), आणि OEM रेखाचित्रांनुसार माउंटिंग फ्लेंजचे नमुने. २ आठवड्यांत प्रोटोटाइप.
मोठ्या प्रमाणात ऑर्डर देण्यासाठी, कृपया दरपत्रकासाठी विनंती करा.
