स्थिर-संवेदनशील वेफर हाताळणीसाठी ESD-सुरक्षित ॲल्युमिना सिरेमिक भाग

सेंट.सेराचे ESD (इलेक्ट्रोस्टॅटिक डिस्चार्ज) सुरक्षित ॲल्युमिना सिरेमिक पार्ट्स ९९.८% उच्च-शुद्धतेच्या Al₂O₃ पासून बनवले जातात, ज्यांची पृष्ठभागीय रोधकता १०⁶–१०⁹ Ω/sq असते. ही रोधकता एका विशेष डोपिंग किंवा कोटिंग प्रक्रियेद्वारे मिळवली जाते. हे पार्ट्स स्थिर विद्युत प्रभार प्रभावीपणे विसर्जित करतात, ज्यामुळे संवेदनशील सेमीकंडक्टर वेफर्स आणि उपकरणांना होणारे इलेक्ट्रोस्टॅटिक नुकसान टाळले जाते. मूळ सामग्री तिची उच्च लवचिक शक्ती (३६१ MPa), कठीणपणा (१६ GPa) आणि पारगम्य शक्ती (१५×१०⁶ V/m) टिकवून ठेवते. ESD-सुरक्षित सिरेमिक पार्ट्समध्ये एंड इफेक्टर्स, लिफ्ट पिन्स, गाइड रेल्स आणि FAB ऑटोमेशनसाठी सानुकूलित फिक्स्चर्स यांचा समावेश आहे.

तपशील(ESD उपचारासह ९९.८% Al₂O₃ वर आधारित):

टीप: पुरवलेल्या मटेरियल प्रॉपर्टी टेबलमध्ये ESD पृष्ठभागाची रोधकता दिलेली नाही. वरील श्रेणी ही डिसिपेटिव्ह सिरॅमिक्ससाठी उद्योग मानक आहे. चाचणी अहवालांसाठी कृपया आमच्याशी संपर्क साधा.

अनुप्रयोग:

● वेफर हस्तांतरणासाठी ESD-सुरक्षित एंड इफेक्टर्स

● फॅब उपकरणांमधील ग्राउंडिंग पिन आणि ईएसडी फिक्स्चर

● स्थिर-संवेदनशील उपकरणांसाठी सॉकेट्सची चाचणी

● क्लीनरूममधील उपकरणे जिथे स्थिर विद्युत नियंत्रण अत्यंत महत्त्वाचे असते

उत्पादन आणि गुणवत्ता:

प्रमाणित ॲल्युमिना प्रक्रिया + ESD पृष्ठभाग उपचार → ANSI/ESD STM11.11 नुसार मोजलेली पृष्ठभागाची रोधकता. प्रत्येक भागाची एकाग्र रिंग इलेक्ट्रोडने १००% चाचणी केली जाते.

फायदे:

● ESD-संबंधित उत्पन्न घट टाळते

● सिरॅमिकची यांत्रिक शक्ती आणि रासायनिक प्रतिकारशक्ती टिकवून ठेवते

● स्थिर विद्युत विसर्जनामुळे कणांची निर्मिती होत नाही