एकात्मिक व्हॅक्यूम चॅनेलसह अॅल्युमिना सिरेमिक एंड इफेक्टर

सेंट.सेराच्या ॲल्युमिना व्हॅक्यूम एंड इफेक्टरमध्ये, अचूकपणे मशीन केलेले व्हॅक्यूम चॅनल्स आणि सक्शन होल्स थेट ९९.८% उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना बॉडीमध्ये एकीकृत केलेले आहेत. या डिझाइनमुळे बाह्य व्हॅक्यूम पॅड्सची गरज नाहीशी होते, ज्यामुळे एकसमान होल्डिंग फोर्ससह थेट वेफर उचलणे शक्य होते. मटेरियलची उच्च फ्लेक्झुरल स्ट्रेंथ (३६१ MPa) आणि हार्डनेस (१६ GPa) वारंवार होणाऱ्या व्हॅक्यूम सायकलमध्ये दीर्घकालीन डायमेन्शनल स्टॅबिलिटी सुनिश्चित करतात. पॅड एरियामधील सपाटपणा १० μm च्या आत राखला जातो, ज्यामुळे वेफरवरील ताण आणि तुटणे टाळले जाते. OEM रोबोट आर्म्ससोबत सहज एकीकरणासाठी व्हॅक्यूम पोर्ट्स मागील माउंटिंग फ्लँजवर स्थित आहेत.

तपशील(९९.८% Al₂O₃ वर आधारित):

अनुप्रयोग:

● पातळ किंवा वाकलेल्या वेफर्सचे व्हॅक्यूमने उचलणे

● कडा न पकडता थेट वेफर हाताळणी

● सौर सेल आणि एलईडी सबस्ट्रेट हस्तांतरण

उत्पादन:

सिंटर्ड ॲल्युमिना ब्लँक → व्हॅक्यूम चॅनल आणि छिद्रांचे ५-ॲक्सिस सीएनसी ड्रिलिंग → पृष्ठभाग लॅपिंग → अल्ट्रासोनिक स्वच्छता → हेलियम गळती चाचणी. प्रत्येक इफेक्टरची व्हॅक्यूम एकसमानतेसाठी १००% प्रवाह-चाचणी केली जाते.

फायदे:

● बाह्य व्हॅक्यूम पॅड नाहीत (कणांचे स्रोत कमी होतात)

● एकसमान दाबामुळे वेफरवर खुणा उमटत नाहीत

● रासायनिक दृष्ट्या निष्क्रिय आणि क्लीनरूमशी सुसंगत