अचूक डायसिंग आणि ग्राइंडिंगसाठी अॅल्युमिना व्हॅक्यूम चक

सेंट.सेराचा ॲल्युमिना व्हॅक्यूम चक ९९.८% उच्च-शुद्धतेच्या Al₂O₃ पासून बनवला जातो, ज्यावर अचूकपणे मशीन केलेले व्हॅक्यूम ग्रूव्ह्स असतात. आमच्या अचूक ग्राइंडिंग क्षमतेमुळे ०.००३ मिमी सपाटपणा आणि ०.००२ मिमी समांतरता साधली जाते, ज्यामुळे डायसिंग, बॅकसाइड ग्राइंडिंग आणि तपासणी दरम्यान वेफर वाकल्याशिवाय स्थिर राहते. हे मटेरियल उच्च लवचिक शक्ती (३६१ MPa), कठोरता (१६ GPa) आणि ८००°C पर्यंत औष्णिक स्थिरता प्रदान करते. हे ६०० मिमी बाह्य व्यासापर्यंत (OD) गोलाकार आणि १५०० मिमी लांबीपर्यंत आयताकृती आकारात उपलब्ध आहे. विशिष्ट प्रक्रियेच्या गरजेनुसार व्हॅक्यूम ग्रूव्ह्स सानुकूलित (केंद्री, त्रिज्यीय किंवा ग्रिड पॅटर्नमध्ये) डिझाइन केले जातात. प्रत्येक चकची लेझर इंटरफेरोमीटरने तपासणी केली जाते आणि त्यासोबत सपाटपणा पडताळणी अहवाल दिला जातो.

वैशिष्ट्ये (९९.८% ॲल्युमिनियमवर आधारित)₂O₃आणि सेंट सेरा उत्पादन क्षमता):

अनुप्रयोग:

• · वेफर डायसिंग आणि स्क्रायबिंग (२०० मिमी/३०० मिमी आणि त्याहून मोठे)
• · पातळ वेफर्सच्या मागच्या बाजूचे ग्राइंडिंग
• · ऑप्टिकल तपासणी आणि प्रोबिंग
• · मोठ्या सब्सट्रेटची हाताळणी

उत्पादन अचूकता:

• · सरळपणा: ०.००५ मिमी
• · लंबता: ०.००५ मिमी
• · गोलाकारपणा: ०.००२ मिमी
• · समकेंद्रता: ०.०१ मिमी