ॲल्युमिना-आधारित मानक व्हॅक्यूम चक – अचूक मशीनिंगसाठी उच्च दृढता
हा ॲल्युमिना-आधारित व्हॅक्यूम चक ९९.८% Al₂O₃ पासून बनवलेला आहे, जो सानुकूलित व्हॅक्यूम ग्रूव्ह पॅटर्नसह एक गुळगुळीत, छिद्ररहित पृष्ठभाग प्रदान करतो. तो अपवादात्मक दृढता (यंग्स मॉड्युलस ३८० GPa) आणि सपाटपणा (≤३ μm) देतो, ज्यामुळे तो सेमीकंडक्टर वेफर्स आणि ऑप्टिकल घटकांच्या अचूक ग्राइंडिंग, लॅपिंग आणि डायसिंगसाठी आदर्श ठरतो. या मटेरियलची उच्च औष्णिक वाहकता (३२ W/m·k) प्रक्रियेदरम्यान तापमानाची एकसमानता सुनिश्चित करते.
तपशील(९९.८% ॲल्युमिनियमवर आधारित)₂O₃):
| मालमत्ता | मूल्य |
| साहित्य | ९९.८% ॲल्युमिना (आयव्हरी) |
| घनता | ३.९३ ग्रॅम/सेमी³ |
| वाकण्याची ताकद | ३६१ एमपीए |
| विकर्स कठीणपणा | १६ जीपीए |
| यंगचा मापांक | ३८० जीपीए |
| औष्णिक वाहकता | ३२ वॅट/मीटर·किलो |
| सपाटपणा | ≤३ μm (२०० मिमी पेक्षा जास्त) |
| पृष्ठभागाचा खडबडीतपणा (चक बाजू) | Ra ≤0.4 μm |
| कमाल ऑपरेटिंग तापमान | ८००°C |
अनुप्रयोग:
- · वेफरच्या मागच्या बाजूचे ग्राइंडिंग (जाडसर आणि बारीक)
- · ठिसूळ पदार्थांचे अचूक तुकडे करणे
- · सिरॅमिक सब्सट्रेट्सचे लॅपिंग
- · ऑप्टिकल लेन्स पॉलिशिंग
उत्पादन:
दोन्ही बाजूंचे अचूक लॅपिंग → डायमंड ग्रूव्हिंग (ऐच्छिक) → कडांना गोलाकार करणे → अल्ट्रासोनिक स्वच्छता → लेझर इंटरफेरोमीटरद्वारे १००% सपाटपणाची तपासणी.
Aफायदे:
- · दृढ आधारामुळे भाराखाली होणारे विचलन कमी होते.
- सच्छिद्र संरचनेतून कणांची निर्मिती होत नाही
- · स्वच्छ करण्यास सोपे (सॉल्व्हेंट-वाईपने पुसता येते)
- · व्हॅक्यूम ग्रूव्ह्स गरजेनुसार बदलता येतात (केंद्रीभूत, त्रिज्यीय, पसंतीचे नमुने)
उपलब्ध आकार:
गोल: १०० मिमी, १५० मिमी, २०० मिमी, ३०० मिमी; मागणीनुसार चौरस/आयताकृती.
आम्ही अधिक यांत्रिक मजबुतीसाठी धातू-आधारित आवृत्त्या देखील उपलब्ध करून देतो.











