३०० मिमी वेफर प्रोसेसिंगसाठी १२-इंच अॅल्युमिना व्हॅक्यूम चक

सेंट.सेराचा १२-इंची व्हॅक्यूम चक, ३०० मिमी वेफर हाताळणीसाठी ९९.८% उच्च-शुद्धता असलेल्या ॲल्युमिना (Al₂O₃) पासून अचूकपणे तयार केला आहे. या चकमध्ये बारीक खाचा असलेला पृष्ठभाग (खाचांची रुंदी ०.५–१.० मिमी, पिच २–३ मिमी) आहे, ज्यामुळे संपूर्ण ३०० मिमी व्यासावर व्हॅक्यूमचे एकसमान वितरण सुनिश्चित होते. सपाटपणा ५ μm च्या आत राखला जातो, ज्यामुळे डायसिंग, बॅकसाइड ग्राइंडिंग आणि तपासणी दरम्यान वेफर वाकल्याशिवाय स्थिर राहते. या मटेरियलची उच्च लवचिक शक्ती (३६१ MPa) आणि कडकपणा (१६ GPa) वारंवार व्हॅक्यूम सायकलमध्येही दीर्घकालीन आयामी स्थिरतेची हमी देतात.

तपशील (९९.८% Al₂O₃ वर आधारित):

अनुप्रयोग:

३०० मिमी वेफर डायसिंग आणि स्क्रायबिंग
 वेफरच्या मागच्या बाजूचे ग्राइंडिंग (पातळ वेफरला आधार देणे)
 ऑप्टिकल तपासणी आणि प्रोबिंग
 तात्पुरते जोडणारे/काढणारे चक

उत्पादन:

अंतिम सपाटपणासाठी सीएनसी ग्राइंडिंग आणि लॅपिंग केलेले, डायमंड व्हील्सने ग्रूव्ह केलेले, अल्ट्रासॉनिक पद्धतीने स्वच्छ केलेले आणि क्लास 100 क्लीनरूममध्ये पॅकेज केलेले. प्रत्येक चकची सपाटपणासाठी (लेझर इंटरफेरोमीटर) आणि ग्रूव्हच्या खोलीसाठी (प्रोफिलोमीटर) 100% तपासणी केली जाते.

फायदे:

 कमी कण निर्मिती (≤०.०५ कण/सेमी²)

 द्रावक आणि आम्लांप्रति रासायनिक दृष्ट्या निष्क्रिय

ESD-सुरक्षित पृष्ठभाग (रोधकता >10¹³ Ω·cm)

गरजेनुसार व्हॅक्यूम होलचे नमुने आणि मागील बाजूस पोर्ट्स उपलब्ध आहेत.