सीव्हीडी / पीव्हीडी प्रक्रिया चेंबर्ससाठी सानुकूलित उच्च-शुद्धता ॲल्युमिना सिरेमिक रिंगचे उत्पादक आणि पुरवठादार

सीव्हीडी / पीव्हीडी प्रक्रिया कक्षांसाठी उच्च-शुद्धता ॲल्युमिना सिरेमिक रिंग

संक्षिप्त वर्णन:

सेंट.सेराची सिरेमिक रिंग विशेषतः सीव्हीडी (केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन) आणि पीव्हीडी (फिजिकल व्हेपर डिपॉझिशन) प्रोसेस चेंबर्समध्ये वापरण्यासाठी डिझाइन केलेली आहे. ९९.८% उच्च-शुद्धता असलेल्या ॲल्युमिना (Al₂O₃) पासून बनवलेली ही रिंग, प्लाझ्माला मर्यादित ठेवण्यासाठी आणि चेंबरच्या भिंतींना झिजेपासून वाचवण्यासाठी चेंबर लाइनर, फोकस रिंग किंवा प्रोसेस किटचा घटक म्हणून काम करते. हे मटेरियल उत्कृष्ट प्लाझ्मा प्रतिरोध, उच्च डायलेक्ट्रिक सामर्थ्य (१५×१०⁶ V/m) आणि १६००°C पर्यंत औष्णिक स्थिरता प्रदान करते, ज्यामुळे आक्रमक फ्लोरीन-आधारित प्लाझ्मा वातावरणात दीर्घ सेवा आयुष्य सुनिश्चित होते. अचूक आयामी सहनशीलता (आतील/बाहेरील बाजूस ±०.०५ मिमी) आणि सपाटपणा (≤१० μm) यामुळे वेफरच्या कडांचे सातत्यपूर्ण स्थान निश्चित होते, ज्यामुळे डिपॉझिशनची एकसमानता सुधारते आणि कणांची निर्मिती कमी होते.

आम्हाला ईमेल पाठवा

उत्पादनाचा तपशील

उत्पादन टॅग

वैशिष्ट्ये (९९.८% Al₂O₃ वर आधारित):

मालमत्ता	मूल्य
साहित्य	९९.८% ॲल्युमिना (आयव्हरी)
घनता	३.९३ ग्रॅम/सेमी³
पाणी शोषण	0%
वाकण्याची ताकद	३६१ एमपीए
फ्रॅक्चर टफनेस	३–४ MPa·m¹/²
विकर्स कठीणपणा	१६ जीपीए
यंगचा मापांक	३८० जीपीए
औष्णिक वाहकता	३२ वॅट/मीटर·किलो
औष्णिक प्रसरण (25–1000°C)	७.२×१०⁻⁶/℃
डायलेक्ट्रिक सामर्थ्य	१५×१०⁶ व्होल्ट/मीटर
विशिष्ट प्रतिकार	>१०¹⁴ Ω·सेमी
कमाल ऑपरेटिंग तापमान	१६००°से

अनुप्रयोग:

· सीव्हीडी चेंबर फोकस रिंग्ज आणि एज रिंग्ज
· पीव्हीडी चेंबर शील्ड रिंग्ज आणि क्लॅम्प रिंग्ज
· एचिंग चेंबर लायनर्स आणि कव्हर रिंग्स
· डायलेक्ट्रिक एच सिस्टीममधील प्लाझ्मा कन्फाइनमेंट रिंग्ज

उत्पादन प्रक्रिया:

आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग → ग्रीन मशीनिंग → १६००°C वर सिंटरिंग → सीएनसी आयडी/ओडी ग्राइंडिंग → सरफेस लॅपिंग → अल्ट्रासोनिक क्लीनिंग → १००% सीएमएम तपासणी. अत्यंत गुळगुळीत पृष्ठभाग (Ra ≤०.४ μm) कणांचे चिकटणे कमी करतो.

गुणवत्ता नियंत्रण:

· १००% मापांची तपासणी (आतील व्यास, बाहेरील व्यास, जाडी, सपाटपणा)
· पृष्ठभागावरील सूक्ष्म भेगांसाठी डाय पेनिट्रंट तपासणी
· ASTM D149 नुसार डायलेक्ट्रिक सामर्थ्य चाचणी
· २०× सूक्ष्मदर्शकाखाली कोणताही दृश्यमान रंगबदल किंवा सच्छिद्रता नाही

धातू किंवा क्वार्ट्जच्या अंगठ्यांपेक्षा असलेले फायदे:

· फ्लोरीन प्लाझ्मामध्ये ॲल्युमिनियमच्या रिंगांपेक्षा ५-१० पट जास्त आयुष्य
· पातळ थरांमध्ये धातूंचे प्रदूषण नाही
· क्वार्ट्जपेक्षा जास्त प्लाझ्मा प्रतिरोधकता (झिजेचे खड्डे पडत नाहीत)
· दीर्घकाळ वापरानंतरही >10¹⁴ Ω·cm विद्युतरोधकता टिकवून ठेवते

पर्यायी सामग्री — सिलिकॉन नायट्राइड (Si₃N₄):

ज्या अनुप्रयोगांमध्ये आणखी उच्च फ्रॅक्चर टफनेस (6.2 MPa·m¹/²) आणि उत्तम थर्मल शॉक रेझिस्टन्स (प्रसरण गुणांक 3.2×10⁻⁶/℃) आवश्यक असतो, त्यांच्यासाठी Si₃N₄ रिंग्ज उपलब्ध आहेत. तथापि, बहुतेक CVD/PVD अनुप्रयोगांसाठी ॲल्युमिना अधिक किफायतशीर आहे. ऑर्डर देताना कृपया मटेरियलची पसंती नमूद करा.

सानुकूलन: