सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक एंड इफेक्टर – उच्च तापमानात वेफर हाताळणीसाठी उच्च दृढता
सेंट.सेराचा SiC सिरेमिक एंड इफेक्टर, S1111 बॅच मटेरियल वापरून उच्च-शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइडपासून (SiC प्रमाण ९९.७२%, मुक्त Si ०.०५%) तयार केला जातो. तो उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्म प्रदान करतो: लवचिक शक्ती ४४९ MPa (मोजलेले), लवचिक मापांक ४५७ GPa (मोजलेले), आणि विकर्स कठीणता २५–२८ GPa (सामान्य). कमी घनता (३.१०–३.१५ g/cm³, सामान्य) उच्च विशिष्ट कडकपणा प्रदान करते, जे हाय-स्पीड वेफर ट्रान्सफर रोबोट्ससाठी आदर्श आहे. १२०–१५० W/m·K (सामान्य) औष्णिक वाहकता आणि ४.०–४.५×१०⁻⁶/℃ (सामान्य) औष्णिक प्रसरण गुणांकासह, हा एंड इफेक्टर उच्च-तापमान हाताळणी दरम्यान (१६००–१७००°C पर्यंत, भाराशिवाय) प्रभावीपणे उष्णता विसर्जित करतो आणि आकारमान स्थिरता राखतो. काळा/राखाडी रंग आणि शून्य पाणी शोषण क्षमता क्लीनरूमसाठी अनुकूलता सुनिश्चित करतात.
तपशील(पुरवलेल्या SiC S1111 चाचणी अहवाल आणि ठराविक मूल्यांवर आधारित)):
| मालमत्ता | मूल्य |
| साहित्य | SiC (९९.७२% SiC, ०.०५% मुक्त Si) |
| रंग | काळा/राखाडी |
| घनता | ३.१०–३.१५ ग्रॅम/सेमी³ |
| पाणी शोषण | 0% |
| वाकण्याची ताकद | ४४९ एमपीए (सरासरी) |
| फ्रॅक्चर टफनेस | ३.१२ MPa·m¹/² (सरासरी) |
| लवचिक मापांक | ४५७ जीपीए |
| विकर्स कठीणपणा | २५-२८ जीपीए |
| औष्णिक वाहकता (25°C) | १२०–१५० वॅट/मीटर·केल्विन |
| CTE (25–1000°C) | ४.०–४.५×१०⁻⁶/℃ |
| कमाल वापर तापमान (लोड नसताना) | १६००–१७००°से |
अनुप्रयोग:
● उच्च-तापमानावर वेफर हाताळणी (पोस्ट-ॲनील, आरटीपी, एपिटॅक्सी)
● उच्च झीज प्रतिरोधकतेची आवश्यकता असलेले प्लाझ्मा एच चेंबर्स
● उच्च-गती हस्तांतरण रोबोट (हलके वजन, उच्च कडकपणा)
उत्पादन:
एसआयसी पावडर सिंटरिंग → आर्म प्रोफाइल आणि माउंटिंग वैशिष्ट्यांचे अचूक सीएनसी ग्राइंडिंग → पृष्ठभाग लॅपिंग → अल्ट्रासोनिक स्वच्छता. व्हॅक्यूम अनुप्रयोगांसाठी १००% आयामी तपासणी आणि हेलियम गळती चाचणी.
गुणवत्ता नियंत्रण:
● लांबी, रुंदी आणि सपाटपणाची CMM तपासणी
● प्रत्येक बॅचसाठी लवचिक सामर्थ्य चाचणी (चाचणी अहवाल मानकानुसार)
● पृष्ठभागावरील दोषांसाठी सूक्ष्मदर्शकाखाली दृश्य तपासणी
ॲल्युमिना किंवा धातूच्या तुलनेत फायदे:
● २ पट जास्त स्थितिस्थापकता गुणांक (ॲल्युमिनासाठी ~३८० GPa च्या तुलनेत ४५७) – कमी विचलन
● ३ पट जास्त औष्णिक वाहकता – उष्णतेचे जलद वहन
● हवेमध्ये >१६००°C तापमान सहन करते, तर ॲल्युमिना ८००°C तापमान सहन करतो.
● स्टीलपेक्षा कमी घनता – वजनात ४०% घट
सानुकूलन:
लांबी १५०–४५० मिमी, टोकाचे आकार (एज ग्रिप, बर्नोली, फ्लॅट), ओईएमच्या रेखाचित्रानुसार माउंटिंग फ्लेंजचे नमुने.
वरील सर्व यांत्रिक माहिती पुरवलेल्या चाचणी अहवालातून (बॅच S1111) घेतलेली आहे. औष्णिक आणि कठीणता मूल्ये या SiC ग्रेडसाठी सामान्य आहेत; लॉट-विशिष्ट प्रमाणपत्रासाठी कृपया आमच्याशी संपर्क साधा.
