सेमीकंडक्टर प्रोसेस फिक्स्चरसाठी सिरॅमिक सपोर्टिंग पिन
सेंट.सेराचे सिरेमिक सपोर्टिंग पिन्स (ज्यांना लिफ्ट पिन्स किंवा सपोर्ट पिन्स असेही म्हणतात) सेमीकंडक्टर प्रोसेस चेंबर्समध्ये हाताळणी, गरम करणे किंवा थंड करण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान वेफर्स किंवा सबस्ट्रेट्सना उंच करण्यासाठी वापरले जातात. ९९.८% ॲल्युमिना किंवा सिलिकॉन नायट्राइडपासून बनवलेले हे पिन्स उच्च दाबशक्ती, औष्णिक स्थिरता आणि रासायनिक प्रतिकारशक्ती देतात. अर्धगोलाकार किंवा सपाट टोकाच्या डिझाइनमुळे वेफरवर ओरखडे पडणे टळते.
तपशील(ॲल्युमिना ९९.८%):
| मालमत्ता | मूल्य |
| साहित्य | ९९.८% Al₂O₃ किंवा Si₃N₄ |
| लांबी | १० – १०० मिमी |
| व्यास | १ – १० मिमी |
| टोकाचा आकार | सपाट, अर्धगोलाकार, टोकदार |
| संपीडन शक्ती (Al₂O₃) | २००० एमपीए |
| कमाल कार्यकारी तापमान (Al₂O₃) | १६००°से |
| पृष्ठभाग फिनिश | लॅप्ड (Ra ≤0.4 μm) |
| व्यासावरील सहनशीलता | ±०.०१ मिमी |
अनुप्रयोग:
सीव्हीडी/पीव्हीडी चेंबर्समधील लिफ्ट पिन्स
हॉटप्लेट बेकिंगसाठी सपोर्ट पिन
प्रोब कार्ड सपोर्ट स्ट्रक्चर्स
क्वार्ट्झ फर्नेस बोट सपोर्ट्स
उत्पादन:
बाह्य व्यासाचे अचूक सेंटरलेस ग्राइंडिंग → टीप प्रोफाइलचे डायमंड ग्राइंडिंग → अल्ट्रासोनिक क्लीनिंग → १००% आयामी तपासणी.
गुणवत्ता नियंत्रण:
लांबी/व्यासासाठी सीएमएम, टोकाच्या त्रिज्येसाठी ऑप्टिकल कंपॅरेटर, संपीडन शक्ती तपासण्यासाठी भार चाचणी (प्रत्येक लॉटमधून यादृच्छिक नमुना). फेरोमॅग्नेटिक दूषण नाही (चुंबकाने तपासलेले).
धातू किंवा क्वार्ट्ज पिनच्या तुलनेत फायदे:
स्टेनलेस स्टीलपेक्षा ५ पट जास्त आयुष्य
प्रक्रिया कक्षात धातूंचे प्रदूषण नाही
क्वार्ट्जपेक्षा जास्त तापमान क्षमता (१६००°C विरुद्ध ११००°C)
न चिकटणारा पृष्ठभाग (कणांचे चिकटणे कमी होते)
सानुकूलन:
विविध टोकांचे प्रोफाइल, थ्रेडेड बेस किंवा टेपर्ड शाफ्ट.
आम्ही अत्यंत प्रतिकूल प्लाझ्मा वातावरणासाठी एसआयसी पिन्सचा पुरवठा देखील करतो.
