ST.CERA सानुकूलित सेमीकंडक्टर सिरेमिक फोकस रिंग
उच्च-शुद्धतेच्या (९९.५% पेक्षा जास्त) ॲल्युमिना सिरॅमिकपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंगद्वारे आकार दिलेले आणि उच्च तापमानात सिंटर केलेले, नंतर अचूक मशीनिंग आणि पॉलिश केलेले, हे सिरॅमिक स्पेअर पार्ट्स त्यांच्या झीज-प्रतिरोध, गंज-प्रतिरोध, कमी औष्णिक प्रसरण आणि इन्सुलेशन या वैशिष्ट्यांमुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कोणत्याही कठोर आवश्यकता पूर्ण करू शकतात.
उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, झीज प्रतिरोध आणि उष्णतारोधन या वैशिष्ट्यांमुळे, सिरॅमिक अनेक प्रकारच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये उच्च तापमान, निर्वात किंवा क्षरणकारी वायूच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ काम करू शकते.
उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना पावडरपासून बनवलेले, कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग आणि अचूक फिनिशिंगद्वारे प्रक्रिया केलेले, हे ±0.001 मिमी पर्यंतची आकारमान सहनशीलता, Ra 0.1 पृष्ठभाग फिनिश आणि 1600℃ तापमान प्रतिरोधकता गाठू शकते.
