फिजिकल व्हेपर डिपॉझिशन सिस्टीमसाठी ॲल्युमिना पीव्हीडी इन्सुलेशन रिंग

सेंट.सेराची PVD इन्सुलेशन रिंग फिजिकल व्हेपर डिपॉझिशन (PVD) सिस्टीममध्ये वापरण्यासाठी ९९.८% उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिना (Al₂O₃) पासून बनवली जाते. ही रिंग चेंबरच्या घटकांमध्ये विद्युत अलगीकरण प्रदान करते, ज्यामुळे आर्किंग टाळले जाते आणि प्लाझ्माचे स्थिर कार्य सुनिश्चित होते. तिच्या प्रमुख गुणधर्मांमध्ये उच्च डायलेक्ट्रिक सामर्थ्य (१५×१०⁶ V/m), विशिष्ट रोध >१०¹⁴ Ω·mm²/m, आणि १६००°C पर्यंत औष्णिक स्थिरता यांचा समावेश आहे. आमच्या अचूक मशीनिंग क्षमतेमुळे ६०० मिमी पर्यंत बाह्य व्यास, ०.२ मिमी पर्यंतचा अंतर्गत व्यास, ०.००३ मिमीची सपाटता आणि Ra०.१ चा पृष्ठभाग परिष्करण (सरफेस फिनिश) साध्य करता येतो. रिंगची शून्य सच्छिद्रता आणि रासायनिक निष्क्रियता आक्रमक स्पटरिंग वातावरणात दीर्घकालीन विश्वसनीयता सुनिश्चित करते.

वैशिष्ट्ये (९९.८% ॲल्युमिनियमवर आधारित)₂O₃आणि सेंट सेरा उत्पादन क्षमता):

अनुप्रयोग:

• · PVD प्रणालीमधील बॅकिंग प्लेट इन्सुलेटरना लक्ष्य करणे
• · चेंबर फीडथ्रू इन्सुलेटर
• स्पटरिंग सिस्टीममधील शील्ड रिंग इन्सुलेटर
• प्लाझ्मा चेंबर्समधील उच्च-व्होल्टेज विलगीकरण

उत्पादन अचूकता:

समकेंद्रता: ०.०१ मिमी, गोलाकारपणा: ०.००२ मिमी, सरळपणा: ०.००५ मिमी, लंबता: ०.००५ मिमी, सीएमएम द्वारे सत्यापित.

Aपॉलिमर इन्सुलेटरवरील फायदे:

• · पॉलिमरच्या <३००°C मर्यादेच्या तुलनेत १६००°C तापमान सहन करते
• · वायू उत्सर्जन होत नाही – निर्वाताची अखंडता टिकवून ठेवते
• प्लाझ्मा क्षरण आणि रासायनिक हल्ल्याला प्रतिकार करते

सानुकूलन:

आवश्यकतेनुसार बनवलेले क्रॉस-सेक्शन, माउंटिंग वैशिष्ट्ये, स्टेप प्रोफाइल आणि एकाधिक समकेंद्रित रिंग डिझाइन उपलब्ध आहेत.