पारंपारिक Al2O3 आणि BeO सब्सट्रेट सामग्रीच्या सर्वसमावेशक कार्यक्षमतेच्या फायद्यांसह, अॅल्युमिनियम नायट्राइड(AlN) सिरॅमिक, ज्यामध्ये उच्च थर्मल चालकता आहे (मोनोक्रिस्टलची सैद्धांतिक थर्मल चालकता 275W/m▪k，पॉलीक्रिस्टलची सैद्धांतिक थर्मल चालकता ~0m▪k ~20m/20k आहे. ) , कमी डायलेक्ट्रिक स्थिरांक, सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉनशी जुळणारे थर्मल विस्तार गुणांक आणि चांगले इलेक्ट्रिकल इन्सुलेशन गुणधर्म, मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योगातील सर्किट सब्सट्रेट्स आणि पॅकेजिंगसाठी एक आदर्श सामग्री आहे.उत्तम उच्च तापमान यांत्रिक गुणधर्म, थर्मल गुणधर्म आणि रासायनिक स्थिरतेमुळे उच्च तापमान संरचनात्मक सिरॅमिक घटकांसाठी ही एक महत्त्वाची सामग्री आहे.
AlN ची सैद्धांतिक घनता 3.26g/cm3 आहे, MOHS कठोरता 7-8 आहे, खोली-तापमान प्रतिरोधकता 1016Ωm पेक्षा जास्त आहे आणि थर्मल विस्तारता 3.5×10-6/℃ (खोलीचे तापमान 200℃) आहे.शुद्ध AlN सिरेमिक रंगहीन आणि पारदर्शक असतात, परंतु अशुद्धतेमुळे ते राखाडी, राखाडी पांढरा किंवा हलका पिवळा असे विविध रंग असतील.
उच्च थर्मल चालकता व्यतिरिक्त, AlN सिरेमिकचे खालील फायदे देखील आहेत:
1. चांगले विद्युत पृथक्;
2. सिलिकॉन मोनोक्रिस्टलसह समान थर्मल विस्तार गुणांक, Al2O3 आणि BeO सारख्या सामग्रीपेक्षा श्रेष्ठ;
3. उच्च यांत्रिक शक्ती आणि Al2O3 सिरेमिकसह समान लवचिक सामर्थ्य;
4. मध्यम डायलेक्ट्रिक स्थिर आणि डायलेक्ट्रिक नुकसान;
5. BeO च्या तुलनेत, AlN सिरेमिकची थर्मल चालकता तापमानामुळे कमी प्रभावित होते, विशेषत: 200℃ पेक्षा जास्त;
6. उच्च तापमान प्रतिकार आणि गंज प्रतिकार;
7. गैर-विषारी;
8. सेमीकंडक्टर उद्योग, रासायनिक धातुकर्म उद्योग आणि इतर औद्योगिक क्षेत्रांना लागू करा.
पोस्ट वेळ: जुलै-14-2023